中国古代监察制度的演变经历了从萌芽到形成，再到逐步完备的过程，具体可以分为以下几个阶段：

先秦时期：监察制度的萌芽

夏商时期：

出现了“史”这一官职，负责记录政事和监督官员行为。

西周时期：设立“三监”以及专职官吏进谏和国人谤政等方式，对王权进行一定程度的监督。

春秋战国时期：随着封建制度的确立，各国开始出现专职的监察官员，如齐国的“大谏”和赵国的“御史”。

秦汉时期：监察制度的初步确立

秦朝：

设立御史大夫，负责监察百官，并掌管国家重要图册和典籍。

汉朝：御史台成为中央最高监察机关，汉武帝时将全国分为13个监察区，设立刺史制度，加强对地方官员的监察。

魏晋南北朝时期：监察制度的发展

中央：

沿袭汉制，设立御史台，御史中丞为长官。

地方：由朝廷不定期派巡御史进行监察。

隋唐时期：监察制度的完善

中央：

御史台下设台院、殿院、察院，职责更加明确和细致。

地方：实行道监察区制度，加强了对地方行政机构的监督。

宋元时期：监察制度的加强

宋代：

御史台仍为中央监察机关，设立谏院与御史台合称“台谏”。

元代：加强监察立法，设立行御史台和提刑按察使司，监察地方官员，并规定详密的行为规范和奖惩措施。

明清时期：监察制度的完备

明代：

改御史台为都察院，并设立厂卫机构，进一步加强监察力度。

清代：雍正时将六科并入都察院，乾隆时颁布《钦定台规》，使监察制度更加完备和规范。

中国古代监察制度从萌芽到成熟，再到逐步完备，形成了独特的制度体系，对于维护封建统治秩序和国家机器的正常运转发挥了重要作用。这一制度在历代的演变过程中，不断完善和强化，最终成为中国古代国家治理体系中不可或缺的一部分。