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数值孔径

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数值孔径(NA)是 光学仪器,特别是 显微镜光刻机中的一个重要参数,用于衡量透镜或聚光镜收集光的能力。它定义为物镜前透镜与被检物体之间介质的折射率(n)和孔径角(u)半数的正弦之乘积,公式为:

\[ NA = n \cdot \sin(u/2) \]

数值孔径越大,表示透镜能够收集的光越多,从而能够实现更高的分辨率和更好的成像质量。在光学领域,数值孔径通常用来描述透镜的聚光能力和空间分辨率;在光纤领域,它则用来描述光进出光纤时的锥角大小。

数值孔径的应用非常广泛,例如:

显微镜:

高数值孔径的显微镜能够提供更高的分辨率和更好的对比度,适用于需要观察微小结构的应用,如细胞生物学和材料科学。

光刻机:

在半导体制造中,光刻机使用高数值孔径的透镜来将掩膜版上的图案投影到硅片上。高数值孔径的光刻机能够实现更高的分辨率,从而制造出更小尺寸的芯片。

其他光学仪器:

如激光扫描仪、投影仪等,数值孔径也会影响其成像质量和性能。

随着技术的发展,数值孔径也在不断提高。例如,香港城市大学的研究团队提出了一种太赫兹超构透镜设计方法,能够实现0.555的数值孔径。此外,极紫外(EUV)光刻机的数值孔径也从0.33提高到0.55,以满足2nm以下工艺的需求。

需要注意的是,数值孔径越大,虽然分辨率提高,但视场宽度和工作距离可能会相应减小。因此,在实际应用中,需要根据具体需求权衡数值孔径与其他参数之间的关系。